[发明专利]电编程熔丝结构有效

专利信息
申请号: 201310007165.7 申请日: 2013-01-08
公开(公告)号: CN103915411A 公开(公告)日: 2014-07-09
发明(设计)人: 廖淼 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: H01L23/525 分类号: H01L23/525
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 骆苏华
地址: 201203 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供一种电编程熔丝结构,包括:阳极和阴极;位于所述阳极和阴极之间的熔丝区,所述熔丝区包括多条与所述阳极和阴极连接的熔丝,所述熔丝的宽度小于所述阳极和阴极的最小宽度,所述多条熔丝具有不同的宽度。由于熔丝的宽度不同,需要被熔断所需要的电流不同,即可实现在不同电流下,不同的熔丝被熔断,而使得剩下的E-fuse的电阻不同,从而可实现可多次编程的可变电阻的电编程熔丝结构。
搜索关键词: 编程 结构
【主权项】:
一种电编程熔丝结构,其特征在于,包括:阳极和阴极;位于所述阳极和阴极之间的熔丝区,所述熔丝区包括多条与所述阳极和阴极连接的熔丝,多条所述熔丝具有不同的宽度。
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