[发明专利]电编程熔丝结构有效
申请号: | 201310007165.7 | 申请日: | 2013-01-08 |
公开(公告)号: | CN103915411A | 公开(公告)日: | 2014-07-09 |
发明(设计)人: | 廖淼 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L23/525 | 分类号: | H01L23/525 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 骆苏华 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种电编程熔丝结构,包括:阳极和阴极;位于所述阳极和阴极之间的熔丝区,所述熔丝区包括多条与所述阳极和阴极连接的熔丝,所述熔丝的宽度小于所述阳极和阴极的最小宽度,所述多条熔丝具有不同的宽度。由于熔丝的宽度不同,需要被熔断所需要的电流不同,即可实现在不同电流下,不同的熔丝被熔断,而使得剩下的E-fuse的电阻不同,从而可实现可多次编程的可变电阻的电编程熔丝结构。 | ||
搜索关键词: | 编程 结构 | ||
【主权项】:
一种电编程熔丝结构,其特征在于,包括:阳极和阴极;位于所述阳极和阴极之间的熔丝区,所述熔丝区包括多条与所述阳极和阴极连接的熔丝,多条所述熔丝具有不同的宽度。
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