[发明专利]静电电容式压力传感半导体设备有效
| 申请号： | 201310009154.2 | 申请日： | 2013-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN103226400B | 公开（公告）日： | 2017-08-08 |
| 发明（设计）人： | 堀江利彦;泷口英隆 | 申请（专利权）人： | 株式会社和冠 |
| 主分类号： | G06F3/0354 | 分类号： | G06F3/0354 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司11219 | 代理人： | 李亚,陆锦华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种静电电容式压力传感半导体设备，对于通过按压部件施加的压力具有耐压性，且能够可靠且有效率地检测压力。包括压力检测部（10），作为静电电容的变化而检测压力；以及封装（20），密封有该压力检测部（10）。压力检测部（10）具有第1电极（1）和经由预定的距离与该第1电极（1）相对配置的第2电极（2），在第1电极（1）和第2电极（2）之间形成静电电容，且距离对应于通过按压部件向第1电极传递的压力而变化，从而静电电容变化。在封装（20）中配置有压力传递部件（22），该压力传递部件（22）将向压力检测部（10）的第1电极（1）传递的、按压部件的压力传递到第1电极（1）。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 电容 压力 传感 半导体设备 | ||
【主权项】：
一种静电电容式压力传感半导体设备，包括：压力检测部，作为静电电容的变化而检测压力；以及封装，密封有所述压力检测部，所述静电电容式压力传感半导体设备的特征在于，所述压力检测部具有第1电极和经由预定的距离与所述第1电极相对配置的第2电极，在所述第1电极和所述第2电极之间形成静电电容，且所述距离对应于通过按压部件向所述第1电极传递的压力而变化，从而所述静电电容变化，构成为，所述压力检测部所具有的所述第1电极的与所述第2电极相对侧的相反侧设置有弹性部件，所述按压部件的压力经由所述弹性部件向所述第1电极传递，在所述封装中，形成有向设置在所述第1电极的所述弹性部件传递压力的所述按压部件所插入的孔。
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