[发明专利]一种非制冷热释电红外探测器及制备方法

摘要

本发明公开了一种非制冷热释电红外探测器及制备方法，属于电子材料与元器件技术领域。本发明的非制冷热释电红外探测器包括衬底、热敏感单元，热敏感单元包括热敏感薄膜和电极，热敏感薄膜的厚度为50nm-5um，所述热敏感薄膜的材料为VOx1，或非晶硅，或钛酸锶钡(Bax2Sr1-x2)TiO3，或锆钛酸铅Pb(Zrx3Ti1-x3)O3，或掺镧锆钛酸铅(Pby1La1-y1)(Zrx4Ti1-x4)O3，或钽钪酸铅Pb(Tax5Sc1-x5)O3;其中，1

主权项

一种非制冷热释电红外探测器，包括衬底（6）、热敏感单元（7），所述热敏感单元（7）包括热敏感薄膜（3）和电极（2），其特征在于，所述热敏感薄膜（3）的材料为VOx1，或非晶硅，或钛酸锶钡(Bax2Sr1‑x2)TiO3，或锆钛酸铅Pb(Zrx3Ti1‑x3)O3，或掺镧锆钛酸铅(Pby1La1‑y1)(Zrx4Ti1‑x4)O3，或钽钪酸铅Pb(Tax5Sc1‑x5)O3；其中，1

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