[发明专利]一种基板涂布机的管路排泡方法、装置及相应的涂布机有效
| 申请号： | 201310009567.0 | 申请日： | 2013-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN103048822A | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 李良;柯智胜;徐彬 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1333 | 分类号： | G02F1/1333;G03F7/16;C03C17/00 |
| 代理公司： | 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238 | 代理人： | 潘中毅;熊贤卿 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种基板涂布机的管路排泡方法，至少包括如下步骤：启动注射泵持续一第一时间，所述注射泵将光阻从储存容器注射到涂布机的涂布机管道中；驱动所述光阻在所述涂布机的涂布机管道中流动，进行一次排泡处理过程；在该次排泡处理过程结束后，关闭所述注射泵持续一第二时间；待所述涂布机管道中的小气泡在该第二时间积聚后，再次启动注射泵，重复排泡过程，直至所述涂布机管道中的所有小气泡排泡完成。本发明实施例相应公开了一种基板涂布机的管路排泡装置及涂布机。实施本发明实施例，可以提高管路的排泡效率，并能节省光阻。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基板涂布机 管路 方法 装置 相应 涂布机 | ||
【主权项】：
一种基板涂布机的管路排泡装置，其特征在于，所述管路排泡装置包括：注射泵，用于将光阻从储存容器注射到涂布机的涂布机管道中；控制单元，用于启动注射泵持续一第一时间，驱动所述光阻在所述涂布机的涂布机管道中流动，进行一次排泡处理过程；以及在一次排泡处理过程结束后，关闭所述注射泵持续一第二时间；并在所述涂布机管道中的小气泡在该第二时间内积聚后，再次启动注射泵，重复排泡过程，直至所述涂布机管道中的所有小气泡排泡完成。
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