[发明专利]一种电容压力传感器无效
| 申请号： | 201310010851.X | 申请日： | 2013-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN103162894A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 何永泰;肖丽仙;刘晋豪 | 申请（专利权）人： | 楚雄师范学院 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 675000 云南省楚*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电容压力传感器，属于微电子技术领域。包括上级板、下级板(6)和圆形侧壁(3)；所述的上级板包括圆形岛(1)和圆形膜(2)，圆形岛(1)为一圆柱体，圆形膜(2)为一圆柱体；圆形岛(1)位于圆形膜(2)的上方，圆形岛(1)和圆形膜(2)粘结固定连接；所述的下级板(6)为一中心带有圆形凹圆(5)的长方体，且下级板(6)的表面有一层绝缘层(4)；所述的上级板和下级板(6)之间通过圆形侧壁(3)粘结固定连接。本发明的电容压力传感器具有高的灵敏度、线性度和测量范围。同时，缓解传统电容压力传感器中测量范围、测量灵敏度和线性度之间的矛盾问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电容 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种电容压力传感器，其特征在于：包括上级板、下级板(6)和圆形侧壁(3)；所述的上级板包括圆形岛(1)和圆形膜(2)，圆形岛(1)为一圆柱体，圆形膜(2)为一圆柱体；圆形岛(1)位于圆形膜(2)的上方，圆形岛(1)和圆形膜(2)粘结固定连接；所述的下级板(6)为一中心带有圆形凹圆(5)的长方体，且下级板(6)的表面有一层绝缘层(4)；所述的上级板和下级板(6)之间通过圆形侧壁(3)粘结固定连接。
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