[发明专利]双臂真空机械手

摘要

本发明公开了一种在半导体真空室中使用的双臂真空机械手。所述机械手可包括被构造来用于晶片传输的两个独立驱动的臂。所述机械手可包括三个马达或驱动系统以及三轴密封件以实现各个臂的独立伸展/缩回和臂总成整体上的同时旋转。相较于其它的机械手设计，所述机械手可提高吞吐效率。

主权项

一种在半导体制造装置真空室中使用的晶片传输机械手，所述机械手包括：第一臂，所述第一臂在一端包括第一末端执行器接口，第二臂，所述第二臂在一端包括第二末端执行器接口，底座，所述底座包括：第一马达；第二马达；以及第三马达，其中：所述底座具有中心轴，启动所述第一马达但不启动所述第二马达和所述第三马达导致所述第一臂在垂直于所述中心轴的方向上平移所述第一末端执行器接口而所述第一末端执行器接口围绕所述中心轴没有旋转，启动所述第二马达但不启动所述第一马达和所述第三马达导致所述第二臂在垂直于所述中心轴的方向上平移所述第二末端执行器接口而所述第二末端执行器接口围绕所述中心轴没有旋转，以及同时启动所述第一马达、所述第二马达和所述第三马达导致所述第一末端执行器接口和所述第二末端执行器接口围绕所述中心轴旋转而所述第一末端执行器接口和所述第二末端执行器接口在垂直于所述中心轴的方向上没有平移。