[发明专利]用于沉积薄膜的设备和方法

摘要

本发明公开了一种薄膜沉积设备和一种薄膜沉积方法。薄膜沉积设备包括基底支撑单元，支撑基底；沉积源，使沉积材料蒸发以将沉积材料的蒸汽供应到基底；沉积源移动单元，使沉积源运动，从而沉积源相对于基底支撑单元相对地移动。

主权项

一种薄膜沉积设备，所述薄膜沉积设备包括：基底支撑单元，支撑基底；沉积源，使沉积材料蒸发以将沉积材料的蒸汽供应到基底的表面上；以及沉积源移动单元，使沉积源运动，从而沉积源相对于基底支撑单元移动，其中，沉积源包括：蒸发间，在蒸发间内使沉积材料蒸发以产生沉积材料的蒸汽；喷嘴单元，具有沉积材料的蒸汽被输出到基底所经过的输出孔；蒸汽供应单元，连接蒸发间和喷嘴单元，并向喷嘴单元供应沉积材料的蒸汽；光辐射单元，放置在喷嘴单元的一侧，并辐射光以使基底的沉积有沉积材料的区域硬化；以及蒸发间移动单元，使蒸发间相对于蒸汽供应单元进行相对移动，并且使得蒸发间、蒸汽供应单元和喷嘴单元排列在同一行。