[发明专利]硅基表面羧基化氧化石墨烯自组装复合薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201310011688.9 | 申请日： | 2013-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN103058710A | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 程先华;疏达;李鹏飞;王传英;程海正;华晨 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | C04B41/50 | 分类号： | C04B41/50 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 郭国中;牛山 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种硅基表面羧基化氧化石墨烯自组装复合薄膜的制备方法；所述方法包括以下步骤：步骤一，将处理后的硅片清洗，烘干后，加入Piranha溶液中浸泡；步骤二，取出Piranha溶液中的硅片，清洗，烘干，加入硅烷溶液中进行自组装反应，得产物A；步骤三，取出产物A，清洗，烘干，得硅基表面带有氨基硅烷薄膜硅片；步骤四，将步骤三的产物放入经羧基化处理的氧化石墨烯溶液中，进行反应，得产物B；步骤五，取出产物B，清洗，烘干，保温，即得最终产物硅基表面羧基化氧化石墨烯自组装复合薄膜。本发明制得的产品摩擦系数为0.18～0.22，磨损寿命大于2400秒，本发明工艺简单，成本低，为微机电系统中硅基零件的表面处理提供了方便。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 羧基 氧化 石墨 组装 复合 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种硅基表面羧基化氧化石墨烯自组装复合薄膜的制备方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：步骤一，将处理后的硅片清洗，烘干后，加入Piranha溶液中浸泡；步骤二，取出Piranha溶液中的硅片，清洗，烘干，加入硅烷溶液中进行自组装反应，得产物A；步骤三，取出产物A，清洗，保温，得硅基表面带有氨基硅烷薄膜硅片；步骤四，将步骤三的产物放入氧化石墨烯溶液中，进行反应，得产物B；步骤五，取出产物B，清洗，烘干，保温，即得最终产物硅基表面羧基化氧化石墨烯自组装复合薄膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海交通大学，未经上海交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310011688.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
