[发明专利]热反应型抗蚀剂材料、使用它的热光刻用层压体以及使用它们的模具的制造方法有效
| 申请号： | 201310011760.8 | 申请日： | 2009-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN103151053A | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | 三田村哲理;古谷一之;中川义清;前田雅俊 | 申请（专利权）人： | 旭化成株式会社 |
| 主分类号： | G11B7/26 | 分类号： | G11B7/26;G03F7/00;B82Y10/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 徐申民;李晓 |
| 地址： | 日本大阪府大阪*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的热反应型抗蚀剂材料的特征在于，元素的氟化物的沸点在200℃以上。据此可以实现一种热反应型抗蚀剂材料，其对为形成槽深度深的图案用氟碳系气体进行的干蚀刻具有很高的耐性。 | ||
| 搜索关键词： | 反应 型抗蚀剂 材料 使用 光刻 层压 以及 它们 模具 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种热反应型抗蚀剂材料，其用于使用了氟碳系气体的干蚀刻中，其特征在于，含有选自由Mg、Ca、Sr、Ba、Sc、Y、Ti、Zr、Hf、Nb、Ta、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Ag、Zn、Al、Ga、In、Sn、Pb、Sb以及Bi构成的金属组（α）以及由V、Mo、W、Ge、Se及Te构成的金属组（β）之中的2种金属构成的2元复合金属材料，并且所述金属中的至少一种选自金属组（α）之中，且所述复合金属材料至少通过氧化、熔融、相变化的任意一个形成图案。
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