[发明专利]一种基于蓝光激光直写的金属微结构加工方法有效
| 申请号： | 201310012614.7 | 申请日： | 2013-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN103072940A | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 刘建军;洪治;王文涛;李向军;武东伟 | 申请（专利权）人： | 中国计量学院 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 陈昱彤 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于蓝光激光直写的金属微结构加工方法，它是将蓝光激光器输出的激光光束聚焦到银盐感光薄膜上，并对银盐感光薄膜进行二维扫描直写曝光得到由银线构成的金属微结构图形，然后对银盐感光薄膜进行清洗。本发明可在曝光中即可直接一步生成银线，大大减少了加工环节。本发明方法具有工艺简单，设备成本低和加工成本低的特点，可方便地更改所加工金属微结构的参数，适用于微波波段和太赫兹波段超材料的加工。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 激光 金属 微结构 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种基于蓝光激光直写的金属微结构加工方法，其特征在于：将蓝光激光器输出的激光光束聚焦到银盐感光薄膜上，并对所述银盐感光薄膜进行二维扫描直写曝光得到由银线构成的金属微结构图形，然后对银盐感光薄膜进行清洗。
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