[发明专利]阵列基板修复装置及方法有效
| 申请号： | 201310013800.2 | 申请日： | 2013-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN103048815A | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 郑文达;吴础任 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217 | 代理人： | 蔡晓红;林俭良 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种阵列基板修复装置及方法，其中该装置包括：激光源，用于修补阵列基板上的多余光阻；检测装置，用于检测阵列基板上是否存在多余光阻；过滤镜片，用于使激光源出射的光照射在阵列基板的多余光阻上；过滤镜片设置在阵列基板上方，激光源设置在过滤镜片上方，检测装置设置在阵列基板的上方。实施本发明的阵列基板修复装置及方法能够快速、准确地对阵列基板进行修复。 | ||
| 搜索关键词： | 阵列 修复 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种阵列基板修复装置，其特征在于，包括：激光源，用于修复阵列基板上的多余光阻；检测装置，用于检测阵列基板上是否存在多余光阻；过滤镜片，用于使激光源出射的光照射在阵列基板的多余光阻上以修复该多余光阻；其中，所述过滤镜片设置在所述阵列基板上方，所述激光源设置在所述过滤镜片上方，所述检测装置设置在所述阵列基板的上方。
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