[发明专利]一种带有迂回通道的悬臂梁式液体浓度传感器有效
申请号: | 201310014595.1 | 申请日: | 2013-01-15 |
公开(公告)号: | CN103048359A | 公开(公告)日: | 2013-04-17 |
发明(设计)人: | 高仁璟;赵剑;张彦康;张永存;刘书田 | 申请(专利权)人: | 大连理工大学 |
主分类号: | G01N27/00 | 分类号: | G01N27/00 |
代理公司: | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人: | 赵淑梅;李馨 |
地址: | 116024 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明涉及一种带有迂回通道的悬臂梁式液体浓度传感器,包括基体、悬臂梁、激励压电薄膜、检测压电薄膜,所述悬臂梁一端固定在基体上,另一端自由悬空,悬臂梁上表面设有激励压电薄膜,悬臂梁下表面设有检测压电薄膜,所述悬臂梁内部设有用于检测的迂回通道,所述悬臂梁固定端设有通道的入口和出口,本发明有益效果为提高了传感器的灵敏度和测量效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 带有 迂回 通道 悬臂梁 液体 浓度 传感器 | ||
【主权项】:
一种带有迂回通道的悬臂梁式液体浓度传感器,包括基体(1)、悬臂梁(2)、激励压电薄膜(3)、检测压电薄膜(4),所述悬臂梁(2)一端固定在基体(1)上,另一端自由悬空,悬臂梁(2)上表面设有激励压电薄膜(3),悬臂梁(2)下表面设有检测压电薄膜(4),其特征在于:所述悬臂梁(2)内部设有用于检测的迂回通道(21),所述悬臂梁(2)固定端设有通道(21)的入口和出口。
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