[发明专利]处理装置和阀门动作确认方法

摘要

本发明涉及一种处理装置和阀门动作确认方法。本发明的目的在于，把握向处理容器内供给气体的气体供给系统中的阀门的动作状态状态，实时检测阀门的异常或提前避免。作为MC（401）的下位的控制单元的I/O端口（415）设置DO开闭计数器（421）和DI开闭计数器（423），对腔室阀（37、47、57、67）的开闭次数进行计数。当DO开闭计数器（421）的计数值A、DI开闭计数器（423）的计数值B为A=B时，基于DO开闭计数器（421）和DI开闭计数器（423）的腔室阀（37）的动作状态判断为正常，当A≠B时，判断为异常。

主权项

一种处理装置，其特征在于，包括：收纳被处理体的处理容器；气体供给路径，其与对所述处理容器内供给的处理气体的种类对应地设置于多个系统；配置于所述多个系统的各个系统的气体供给路径，进行所述气体供给路径的开闭的多个阀门；阀门驱动部，其对所述多个阀门各自独立地进行电驱动；传感器部，其对所述阀门的开闭动作各自独立地进行监视；和控制部，其基于所述阀门驱动部的开闭动作的信号和/或来自所述传感器部的所述阀门的开闭的检测信号，判断所述阀门的动作状态。