[发明专利]激光光线的光点形状检测方法以及光点形状检测装置

摘要

本发明提供激光光线的光点形状检测方法以及光点形状检测装置。包括：透明基板定位步骤，将形成有细微棱镜的透明基板以能够在与Z轴方向垂直的X轴方向以及与Z轴方向和X轴方向垂直的Y轴方向上移动的方式，定位到由聚光器会聚的激光光线的光轴上；激光光线照射步骤，对不能对透明基板进行加工的输出的激光光线进行会聚并照射到细微棱镜所处的区域；光强检测步骤，在照射了激光光线的状态下，使透明基板相对于聚光器在X轴方向和Y轴方向上相对移动，并且检测折射后的光的光强；光强映射图生成步骤，生成细微棱镜的x、y坐标值处的光强映射图；以及光点形状图像形成步骤，使聚光器实施光强检测步骤和光强映射图生成步骤，生成光点形状图像。

主权项

一种激光光线的光点形状检测方法，对由激光光线振荡构件振荡出并由聚光器会聚的激光光线的光点形状进行检测，该激光光线的光点形状检测方法的特征在于包括：透明基板定位步骤，将在表面形成有细微棱镜的透明基板以能够在与由聚光器会聚的激光光线的光轴即Z轴方向垂直的X轴方向以及与Z轴方向和X轴方向垂直的Y轴方向上移动的方式，定位到Z轴上，其中，该细微棱镜的大小比会聚光点的大小小；激光光线照射步骤，通过该聚光器对不能对该透明基板进行加工的输出的激光光线进行会聚并照射到形成于该透明基板的细微棱镜所处的区域；光强检测步骤，在对形成于该透明基板的细微棱镜所处的区域照射了激光光线的状态下，在使该透明基板相对于该聚光器在X轴方向和Y轴方向上相对移动的同时通过光强检测构件检测由形成于该透明基板的细微棱镜折射后的光的光强；以及光强映射图生成步骤，生成在该光强检测步骤中检测到的细微棱镜的x、y坐标值处的光强映射图，该光点形状检测方法还包括：光点形状图像形成步骤，使该聚光器定位于Z轴方向的多个检测位置而实施该光强检测步骤和该光强映射图生成步骤，根据在该光强映射图生成步骤中生成的多个光强映射图，生成激光光线的光点形状图像；以及显示步骤，在显示构件中显示通过该光点形状图像形成步骤生成的光点形状图像。