[发明专利]基于固体液体组合靶材的极紫外光源产生装置及光源系统有效
| 申请号： | 201310015937.1 | 申请日： | 2013-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN103105740A | 公开（公告）日： | 2013-05-15 |
| 发明（设计）人： | 马蓉;王新兵;左都罗;卢宏;陆培祥 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 朱仁玲 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种极紫外光源产生装置，包括聚焦透镜、电机、轴承、温度控制器、液体靶材、器皿和固体靶材；固体靶材位于聚焦透镜的焦平面上，器皿用于放置液体靶材，器皿位于固体靶材的下方，固体靶材部分浸入液体靶材中；温度控制器用于给器皿中的液体靶材加热使之保持液态；轴承位于固体靶材的中心，电机与轴承相连，电机用于驱动固体靶材绕轴承转动，固体靶材转动时粘附液体靶材；工作时，激光光束通过聚焦透镜聚焦后轰击粘附在所述固体靶材上方的液体靶材，激光与液体靶材相互作用产生等离子体，等离子体辐射出极紫外光。本发明能够极大的消除碎屑对反射镜以及其他光学元件的污染；能提高其产生EUV的稳定性；成本低；技术实现容易。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 固体 液体 组合 紫外 光源 产生 装置 系统 | ||
【主权项】：
一种极紫外光源产生装置，其特征在于，包括聚焦透镜、电机、轴承、温度控制器、液体靶材、器皿和固体靶材；所述固体靶材位于所述聚焦透镜的焦平面上，所述器皿用于放置所述液体靶材，所述器皿位于所述固体靶材的下方，所述固体靶材部分浸入所述液体靶材中；温度控制器用于给所述器皿中的液体靶材加热使之保持液态；轴承位于所述固体靶材的中心，所述电机与所述轴承相连，所述电机用于驱动所述固体靶材绕所述轴承转动，所述固体靶材转动时粘附液体靶材；工作时，激光光束通过聚焦透镜聚焦后轰击粘附在所述固体靶材上方的液体靶材，激光与液体靶材相互作用产生等离子体，等离子体辐射出极紫外光。
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