[发明专利]正型感光性树脂组合物、抗蚀图形的制造方法、半导体装置以及电子器件

摘要

本发明涉及正型感光性树脂组合物、抗蚀图形的制造方法、半导体装置以及电子器件。本发明的正型感光性树脂组合物，含有具有酚羟基的碱可溶性树脂、通过光生成酸的化合物、热交联剂、和丙烯酸树脂。根据本发明的正型感光性树脂组合物，可以提供一种能够用碱水溶液显影，并且能够以充分高的灵敏度和分辨率形成粘附性和耐热冲击性优异的抗蚀图形的正型感光性树脂组合物。

主权项

一种正型感光性树脂组合物，其含有：具有酚羟基的碱可溶性树脂、通过光生成酸的化合物、热交联剂、和丙烯酸树脂，所述丙烯酸树脂为具有下述通式(1)所表示的结构单元、下述通式(2)所表示的结构单元和下述通式(3)所表示的结构单元的丙烯酸树脂，通式(1)～(3)中，R¹表示氢原子或甲基，R²表示碳数为4～20的烷基，R³表示具有伯、仲或叔氨基的1价有机基团。