[发明专利]进气系统及基片处理设备

摘要

本发明提供一种进气系统及基片处理设备，其包括与反应腔室相连通的进气口、进气管路以及至少一个气源，且不同气源的气体种类不同，进气管路包括干路、干路阀门、支路和支路阀门，其中，干路连接在进气口和各个气源之间，用以将自气源输出的气体经由进气口输送至所述反应腔室中；干路阀门设置于干路上，用于接通或断开所述干路；支路的一端串接于干路中并位于干路阀门的上游，用于在干路阀门关闭时排出干路中的气体；支路阀门设置于支路上，用于接通或断开支路。本发明提供的进气系统，其切换反应腔室中的气体种类的效率较高，从而可以提高工艺效率。

主权项

一种进气系统，包括与反应腔室相连通的进气口、进气管路以及至少一个气源，且不同气源的气体种类不同，其特征在于，所述进气管路包括干路、干路阀门、支路和支路阀门，其中所述干路连接在所述进气口和各个气源之间，用以将自所述气源输出的气体经由所述进气口输送至所述反应腔室中；所述干路阀门设置于所述干路上，用于接通或断开所述干路；所述支路的一端串接于所述干路中并位于所述干路阀门的上游，用于在干路阀门关闭时排出所述干路中的气体；所述支路阀门设置于所述支路上，用于接通或断开所述支路；所述气源包括至少一个载气气源和至少一个反应气体气源；所述干路包括载气干路和反应气体干路，所述载气干路连接在所述进气口和各个载气气源之间，用以将自所述载气气源输出的载气经由所述进气口输送至所述反应腔室中；所述反应气体干路连接在所述进气口和各个反应气体气源之间，用以将自所述反应气体气源输出的反应气体经由所述进气口输送至所述反应腔室中。