[发明专利]一种脉冲潘宁放电大口径等离子体发生装置

摘要

本发明公开了一种脉冲潘宁放电大口径等离子体发生装置，属于材料表面改性技术领域。该装置由高压脉冲功率电源、时序控制电路、潘宁阳极、阴极、磁场线圈及真空室组成。在真空室达到工作压强后，通过高压脉冲功率电源的放电时序控制，开启脉冲磁场，当磁场强度达到设定值后，潘宁阳极内部及其与阴极和工作台相对区间形成空间放电，获得大口径等离子体。本发明提供的装置可产生磁场强度~5000Gs，潘宁放电电压~7500V，放电持续时间~500μs，重复工作频率0.5Hz，直径Φ60-120mm的等离子体，具有设计合理、结构简单和自动化程度高等优点，适用于材料表面改性处理技术的研究与应用。

主权项

一种脉冲潘宁放电大口径等离子体发生装置，包括高压脉冲功率电源（8）、时序控制电路（9）、潘宁阳极（5）、阴极（7）、磁场线圈（4）、真空室（1）和进气管路（10）；其特征在于：时序控制电路（9）控制高压脉冲功率电源（8）的开启动作，分别为磁场线圈（4）和潘宁阳极（5）提供各自独立的高压输出；阴极（7）与工作台（2）相对放置于真空室（1）轴线上，潘宁阳极（5）位于阴极（7）与工作台（2）中间并保持同轴；磁场线圈（4）由两个平行放置的密绕线圈组成，提供沿潘宁阳极（5）轴线的约束磁场，两线圈提供的工作磁场极性一致；通过下述设定值获得直径Φ60‑120mm的放电等离子体（6）：磁场线圈（4）电压5000V，磁场强度~5000Gs，潘宁放电电压~7500V，放电持续时间~500μs，重复工作频率0.5Hz。