[发明专利]一种气体控制系统及其方法有效
| 申请号： | 201310021589.9 | 申请日： | 2013-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN103941598A | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 李成 | 申请（专利权）人： | 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/04 | 分类号： | G05B19/04 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100871 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种气体控制系统及方法，该气体控制系统包括：机台设备，用于在需要液体时，生成第一控制信号，在不需要液体时，生成第二控制信号；控制器，与机台设备连接，用于接收第一控制信号及第二控制信号；液体供应系统，分别与机台设备的进液管道及控制器连接，并与一气体源装置及一液体源装置连接，当液体供应系统接收到第一控制信号后，执行第一控制信号，获得来自气体源装置的气体，以保持液体供应系统中的液体压力符合预设条件，同时将来自液体源装置的液体通过进液管道供给机台设备；当液体供应系统接收到第二控制信号后，执行第二控制信号，以使气体不能进入液体供应系统，并停止提供液体给机台设备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气体 控制系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种气体控制系统，其特征在于，所述气体控制系统包括：机台设备，用于在需要液体时，生成第一控制信号，以及在不需要所述液体时，生成第二控制信号；控制器，与所述机台设备连接，用于接收所述第一控制信号及所述第二控制信号；液体供应系统，分别与所述机台设备的进液管道及所述控制器连接，所述液体供应系统还分别与一气体源装置及一液体源装置连接，其中：当所述液体供应系统接收到所述第一控制信号后，执行所述第一控制信号，获得来自所述气体源装置的气体，以保持所述液体供应系统中的液体压力符合一预设条件，同时将来自所述液体源装置的所述液体通过所述进液管道供给所述机台设备；当所述液体供应系统接收到所述第二控制信号后，执行所述第二控制信号，以使所述气体不能进入所述液体供应系统，并停止提供所述液体给所述机台设备。
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