[发明专利]一种外排氨水回用系统

摘要

本发明提供了一种外排氨水回用系统，用于太阳能电池板的制造。本发明提供的外排氨水回用系统，在PECVD废气处理装置与制绒、湿法刻蚀废气处理装置之间加设了一个氨水存储罐，并通过氨气回收管将所述PECVD废气处理装置与所述氨水存储罐相连通，通过加药管将所述氨水存储罐与所述制绒、湿法刻蚀废气处理装置相连通。以PECVD废气处理装置产生的氨水直接作为制绒、湿法刻蚀废气处理装置的反应药剂，无需再分别单独地为两装置提供相应的反应药剂，大大减少了太阳能电池制造中，处理PECVD工序、制绒工序以及湿法刻蚀工序产生的废气时所需的药剂用量，使得处理成本明显降低。

主权项

一种外排氨水回用系统，用于太阳能电池板的制造，包括PECVD废气处理装置以及制绒、湿法刻蚀废气处理装置，所述PECVD废气处理装置包括：第一吸附箱（11）；用于排出PECVD工序产生的废气，且与所述第一吸附箱（11）相连通的第一进气管（12）；加水箱（13）；用于向所述加水箱（13）内加水，且设置有第一进水阀（141）的第一进水管（14）；连通所述加水箱（13）以及所述第一吸附箱（11）的第一输入管（15）；连通所述加水箱（13）以及所述第一吸附箱（11）的第一输出管（16）；设置于所述第一输入管（15）上的第一循环泵（151）；所述制绒、湿法刻蚀废气处理装置包括：第二吸附箱（21）；用于排出制绒、湿法刻蚀废气产生的废气，且与所述第二吸附箱（21）相连通的第二进气管（22）；加药箱（23）；连通所述加药箱（23）以及所述第二吸附箱（21）的第二输入管（25）；连通所述加药箱（23）以及所述第二吸附箱（21）的第二输出管（26）；设置于所述第二输入管（25）上的第二循环泵（251），其特征在于，还包括：氨水存储罐（31）；用于排放所述PECVD废气处理装置产生的氨水的氨水回收管（32），且所述氨水回收管（32）与所述氨水存储罐（31）相连通，所述氨气回收管（32）上设置有回收阀门（321）；连通所述加药箱（23）与所述氨水存储罐（31），且用于向所述加药箱（23）内加放氨水的加药管（33），所述加药管（33）上设置有加药阀门（331）；用于排放所述制绒、湿法刻蚀废气处理装置产生的废水的废水外排管（34），所述废水外排管（34）上设置有排水阀门。