[发明专利]一种多晶铸锭用高效坩埚及其制备方法有效
| 申请号： | 201310022908.8 | 申请日： | 2013-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN103088417A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 颜颉颃;习海平;罗建明;高源;石宗杰;张欣 | 申请（专利权）人： | 晶海洋半导体材料（东海）有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人： | 李海波 |
| 地址： | 222300 江苏省连云港市东*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶铸锭用高效坩埚，包括常规的石英坩埚，所述石英坩埚的底部均匀镶嵌有高纯颗粒。本发明还公开了一种多晶铸锭用高效坩埚的制备方法。与现有的石英坩埚相比，本发明具有以下技术效果：（1）本发明将高纯颗粒均匀分布在石英坩埚底部，使石英坩埚底部形成规律分布的凹凸起伏，在多晶铸锭过程中，高纯颗粒形成的凹凸起伏能够引导晶体形核，使其形成均匀、大小适中的晶核，利于晶体的后期生长质量，从而较容易实现硅片转化效率的提升。（2）石英坩埚底部镶嵌高纯颗粒后，高纯颗粒牢牢固定在石英坩埚上，使用后颗粒不脱落，利于铸锭后坩埚的脱模，避免了高纯颗粒进入到硅锭中导致底部硅料报废。（3）高纯颗粒在石英坩埚底部呈矩阵型均匀排列，有利于形成分布均匀、大小适中的晶核，利于后期晶体生长质量的提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 铸锭 高效 坩埚 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种多晶铸锭用高效坩埚，包括常规的石英坩埚，其特征在于：所述石英坩埚的底部均匀分布有高纯颗粒。
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