[发明专利]电压超调对介电失效/击穿的影响的分析实验估计器

摘要

本发明涉及一种电压超调对介电失效/击穿的影响的分析实验估计器。一种方法测试集成电路器件以测量电压超调状况。所述方法确定超调时间比例。所述超调时间比例是在所述集成电路器件的整个有用工作寿命期间，发生电压超调状况的时间量相对于发生正常工作状况的时间量。所述方法还确定超调失效比例。所述超调失效比例包括在所述电压超调状况期间发生的介电失效量相对于在所述正常工作状况期间发生的介电失效量。所述方法基于所述超调时间比例和所述超调失效比例计算允许的超调电压。所述方法附加地计算电压波形的平均超调电压并将所述平均超调电压与所述允许的超调电压进行比较，从而确定所述平均超调电压是否超过所述允许的超调电压。

主权项

一种方法，包括：使用与集成电路器件相连的测试设备测试所述集成电路器件，以便测量当所述集成电路器件的电压超过基础工作电压时发生的电压超调状况，以及测量当所述集成电路器件的电压未超过所述基础工作电压时发生的正常工作状况，所述测试产生历史数据；使用可访问所述历史数据的计算机化机器确定所述正常工作状况的失效分数，所述失效分数包括在所述正常工作状况期间发生的介电失效的比例；使用所述计算机化机器计算施加于所述集成电路器件的电压波形的平均超调电压；使用所述计算机化机器确定所述电压超调状况的失效分数，所述失效分数包括在所述电压超调状况期间经历介电失效的所述集成电路器件的比例，所述电压超调状况的所述失效分数基于所述正常工作状况的所述失效分数和所述平均超调电压；使用所述计算机化机器确定总失效分数，所述总失效分数包括所述正常工作状况的所述失效分数和所述电压超调状况的所述失效分数的总和；使用所述计算机化机器将所述总失效分数与可靠性目标进行比较，从而确定所述总失效分数是否可接受；以及通过所述计算机化机器报告所述总失效分数是否可接受。