[发明专利]蓝宝石衬底的制造方法无效
| 申请号： | 201310024481.5 | 申请日： | 2013-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN103943742A | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 陈杰良;王仲培 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/02 | 分类号： | H01L33/02;C30B29/20;C30B15/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蓝宝石衬底制造方法，其包括：提供一个模具，该模具开设一个薄膜状的凹陷；将蓝宝石原料置于该凹陷并加热使蓝宝石原料在毛细作用下布满凹陷而形成一个薄膜；将一个具有特定切面的蓝宝石晶种移动至该特定切面接触该薄膜表面而形成固液界面；拉提该蓝宝石晶种使该薄膜在该特定切面上凝固以形成一个蓝宝石衬底；对该蓝宝石衬底进行双面粗磨减薄；对该蓝宝石衬底进行双面细磨减薄；对该蓝宝石衬底进行双面粗抛光；及对该蓝宝石衬底进行双面精抛光。如此，相较于传统的制造方法，可缩短10倍左右的时间。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 衬底 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石衬底制造方法，包括：提供一个模具，该模具开设一个薄膜状的凹陷；将蓝宝石原料置于该凹陷并加热使该蓝宝石原料在毛细作用下布满凹陷而形成一个薄膜；将一个具有一个特定切面的蓝宝石晶种移动至该特定切面接触该薄膜而形成固液界面；拉提该蓝宝石晶种使该薄膜在该特定切面上凝固以形成一个蓝宝石衬底；对该蓝宝石衬底进行双面粗磨减薄；对该蓝宝石衬底进行双面细磨减薄；对该蓝宝石衬底进行双面粗抛光；及对该蓝宝石衬底进行双面精抛光。
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