[发明专利]总剂量辐照与热载流子注入综合效应测试的装置

摘要

本发明提供一种总剂量辐照与热载流子注入综合效应测试的装置，包括总剂量辐照系统、电源和信号源、参数测试系统、多路复用器以及控制与数据采集处理系统。装置工作，控制与数据采集处理系统对多路复用器、总剂量辐照系统、参数测试系统进行控制，多路复用器接受控制与数据采集处理系统的控制，连接电源和信号源或参数测试系统，当多路复用器与电源和信号源连接时，被试样品处于总剂量辐照与热载流子注入综合效应测试状态，当多路复用器与参数测试系统连接时，被试样品处于在线功能与参数测试状态，得出测试参数，控制与数据采集处理系统对测试参数进行采集和处理，得出所述被试样品的总剂量辐照和热载流子注入综合效应的评价。

主权项

一种总剂量辐照与热载流子注入综合效应测试的装置，包括总剂量辐照系统、电源和信号源以及参数测试系统，其特征在于，还包括多路复用器和控制与数据采集处理系统，所述控制与数据采集处理系统分别与所述参数测试系统、所述多路复用器连接，所述多路复用器与所述总剂量辐照系统连接，所述多路复用器与被试样品连接；所述多路复用器接受所述控制与数据采集处理系统的控制连接所述电源和信号源或所述参数测试系统，当所述多路复用器与所述电源和信号源连接时，所述被试样品处于总剂量辐照与热载流子注入综合效应测试状态，当所述多路复用器与所述参数测试系统连接时，所述被试样品处于在线功能与参数测试状态；所述控制与数据采集处理系统用于对所述多路复用器和所述参数测试系统进行控制，和对所述参数测试系统所测得的参数进行采集和处理。