[发明专利]集成有微流控系统的光学微纳生物传感器的制作方法无效
| 申请号： | 201310031110.X | 申请日： | 2013-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN103076284A | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 孙英男;韩伟静;魏清泉;李运涛;俞育德;周晓光 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01N21/00 | 分类号： | G01N21/00;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种集成有微流控系统的光学微纳生物传感器的制作方法，包括：清洗基片，在基片顶层上通过光刻、显影、刻蚀等步骤制作微纳平面波导型光学器件；在器件表面旋涂厚SU-8胶，通过对准曝光、后烘、显影等步骤得到SU-8胶微流通道；将PDMS薄片覆盖SU8层并永久键合，从而实现了平面波导型微纳光学器件与微流控的集成；通过进液口注入相关试剂，完成对微环区域的化学修饰，再注入待测试剂溶液，通过观察光功率或谐振谱的变化，从而实现了片上生物检测的功能。该方法具有操作简单、可靠性高的优点，适用于大部分的平面波导型微纳光学生物传感器的微流控系统制作。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 有微流控 系统 光学 生物 传感器 制作方法 | ||
【主权项】：
一种集成有微流控系统的光学微纳生物传感器的制作方法，包括：步骤1：取一基片(10)，清洗干净，烘干，依次涂粘结剂和光刻胶；步骤2：在基片(10)顶层上进行曝光，完成器件图形的定义；步骤3：对显影后的基片(10)进行刻蚀，去胶，得到微纳平面波导型光学器件阵列芯片(11)；步骤4：对该微纳平面波导型光学器件阵列芯片(11)进行前烘，并将SU8胶(12)旋涂在芯片(11)上，然后前烘；步骤5：将光刻掩模铬板上的对准标记与芯片(11)上的对准标记进行对准，然后进行普通光刻，后烘；步骤6：显影得到对应于微纳光学器件图形的微流通道(12)，然后坚膜；步骤7：制作PDMS薄层(13)；步骤8：对芯片上的SU‑8胶(12)进行表面处理，对PDMS薄层(13)的键合面进行等离子体处理；步骤9：将PDMS薄层(13)的键合面贴合到SU‑8胶(12)的修饰面，并放置于热板上；步骤10：对键合好的芯片进行打孔，得到进液口和出液口，这样就得到了集成有微流控系统的光学微纳生物传感器。
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