[发明专利]长晶装置及晶体制造方法有效

专利信息
申请号: 201310031697.4 申请日: 2013-01-28
公开(公告)号: CN103911656A 公开(公告)日: 2014-07-09
发明(设计)人: 吕建兴;宋永萱;陈智勇;刘哲铭;游惠乔;徐文庆;陈志臣 申请(专利权)人: 中美矽晶制品股份有限公司
主分类号: C30B17/00 分类号: C30B17/00;C30B29/20
代理公司: 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 代理人: 赵根喜;吕俊清
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 一种长晶装置,包括:一坩锅、一坩锅盖、一隔热单元及多个热反射环。坩锅盖界定有一开口,坩锅盖装设于坩锅上且共同包围定义出一经开口而连通于外的容置空间。隔热单元设置于坩锅盖的外表面上。所述多个热反射环设置于容置空间内且分别悬吊于坩锅盖,而任两相邻的热反射环呈等距地间隔设置,且所述多个热反射环与坩锅盖之间各形成有一第一角度。其中,所述多个热反射环能在该长晶装置加热过程中产生形变,以使第一角度变化至一第二角度。从而,本发明通过所述多个热反射环的设置而能调整熔汤表面温梯分布。此外,本发明另提供一种晶体制造方法。
搜索关键词: 装置 晶体 制造 方法
【主权项】:
一种长晶装置,其特征在于,包括:一坩锅;一坩锅盖,其界定有一开口,该坩锅盖装设于该坩锅上,且该坩锅与该坩锅盖包围定义出一容置空间,该容置空间经该开口而连通于外;一隔热单元,其设置于该坩锅盖的外表面上;以及多个热反射环,其设置于该容置空间内且分别悬吊于该坩锅盖,而任两相邻的热反射环呈间隔设置,且所述多个热反射环与该坩锅盖之间各形成有一第一角度,所述多个热反射环能在该长晶装置加热过程中产生形变,以使每一热反射环与该坩锅盖之间的第一角度能变化至一第二角度。
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