[发明专利]用来减低镜片加热现象的光掩膜

摘要

本发明公开了一种减缓透镜加热用的光掩膜，其包括基板、目标图案和重分配图案。基板包括有效的图案区域，目标图案则位于有效的图案区域中，而用来将目标图案建立到晶圆上。重分配图案也位于有效的图案区域中，而用来将能量重新分配至镜片上，但是又不会被转印至晶圆上，所以不会在将目标图案建立至晶圆上时反而改掉了目标图案。

主权项

一种减轻透镜加热用的光掩膜，其特征在于，包含：一基板，其包括有效的图案区域；位于所述有效的图案区域中的一目标图案，用来将所述目标图案建立到一晶圆上；以及一重分配图案，位于所述有效的图案区域中，用来将能量重新分配至一镜片而不会被转印至所述晶圆上，也不会在将所述目标图案建立至所述晶圆上时修改所述目标图案。