[发明专利]流体分配系统及方法、连接器、微电子产品制造设备有效
| 申请号： | 201310032070.0 | 申请日： | 2007-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN103101867B | 公开（公告）日： | 2017-07-28 |
| 发明（设计）人： | 唐纳德·D·韦尔;格伦·M·汤姆;保罗·戴斯;埃米·科兰德;贾森·杰罗尔德;柯克·米克尔森;凯文·T·奥多尔蒂;迈克尔·A·西斯埃斯基 | 申请（专利权）人： | 恩特格里斯公司 |
| 主分类号： | B67D7/76 | 分类号： | B67D7/76;B67D7/02 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司11287 | 代理人： | 齐杨 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种流体分配系统及方法、连接器、微电子产品制造设备。该流体分配系统包括至少一个压力分配封装件，该压力分配封装件包括设置在外包装容器内的可折叠内衬，外包装容器比可折叠内衬硬得多，其中，可折叠内衬适于容纳用于压力分配的流体；以及连接器，该连接器适于与至少一个压力分配封装件中的一个压力分配封装件配合，连接器包括气体移除设备，气体移除设备包括适于接收来自可折叠内衬的流体的可排放贮存器，气体移除设备适于在流体的压力分配之前移除可折叠内衬中的气体。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 分配 系统 方法 连接器 微电子 产品 制造 设备 | ||
【主权项】：
一种流体分配系统，所述流体分配系统包括：至少一个压力分配封装件，所述压力分配封装件包括设置在外包装容器内的可折叠内衬，所述外包装容器比所述可折叠内衬硬得多，其中，所述可折叠内衬适于容纳用于压力分配的流体；以及连接器，所述连接器适于与所述至少一个压力分配封装件中的一个压力分配封装件配合，所述连接器包括气体移除设备，所述气体移除设备包括与至少一个传感器操作地接合以有效地从所述压力分配封装件中移除所述可折叠内衬中的顶部空间的气体的顶部空间移除阀以及适于接收来自所述可折叠内衬的流体的可排放贮存器，所述气体移除设备适于在所述流体的压力分配之前以及在所述流体的压力分配期间从所述可折叠内衬中移除气体，其中，所述气体移除设备设置用于检测从所述压力分配封装件分配的气泡的存在。
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