[发明专利]一种硅烷净化提纯工艺尾气的处理方法及装置有效

专利信息
申请号: 201310032371.3 申请日: 2013-01-28
公开(公告)号: CN103041684A 公开(公告)日: 2013-04-17
发明(设计)人: 桑艳青;耿金成;史东旭;于伟 申请(专利权)人: 六九硅业有限公司
主分类号: B01D53/78 分类号: B01D53/78;B01D53/72
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 魏晓波
地址: 071051 河*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 发明公开了一种硅烷净化提纯工艺尾气的处理方法包括以下步骤:11)将硅烷净化提纯工艺尾气通过工艺管道,输送到第一吸收装置中,第一吸收装置中填充有浓度为20%-45%的碱性吸收液;12)通过第一吸收装置中搅拌器的搅拌使硅烷净化提纯工艺尾气被碱性吸收液充分吸收;13)将硅烷净化提纯工艺尾气和碱性吸收液反应后的生成物排出。本发明所提供的硅烷净化提纯工艺尾气的处理方法,利用碱性溶液吸收硅烷净化提纯工艺过程中产生的工艺尾气中的硅烷,安全且无污染的处理硅烷净化提纯工艺尾气,提高硅烷精馏工艺过程的安全性和环保性。
搜索关键词: 一种 硅烷 净化 提纯 工艺 尾气 处理 方法 装置
【主权项】:
一种硅烷净化提纯工艺尾气的处理方法,其特征在于,包括以下步骤:11)将硅烷净化提纯工艺尾气通过工艺管道,输送到第一吸收装置中,第一吸收装置中填充有浓度为20%‑45%的碱性吸收液;12)通过第一吸收装置中搅拌器的搅拌使硅烷净化提纯工艺尾气被碱性吸收液充分吸收;13)将硅烷净化提纯工艺尾气和碱性吸收液反应后的生成物排出。
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