[发明专利]一种电容式压力传感器的制备方法

摘要

一种电容式压力传感器的制备方法。本发明在于用采用相对简单的工艺方法，制造出结构简单但是可靠性好，重复性好的器件。具体加工方法包括，敏感膜片的加工，电容间隙的加工，电极的加工及电极引出，硅玻璃的键合等。敏感膜片的加工过程包括：电容间隙的腐蚀，采用四甲基氢氧化铵(TMAH)溶液，硅岛的腐蚀采用氢氧化钾(KOH)溶液。本专利的发明在于硅岛的腐蚀，本发明在于提出了一种变截面(八角形)型膜片。变截面膜片有较好的线性度，且有较低的应力集中。电容间隙在2～4um，用TMAH溶液易于控制腐蚀精度。淀积Cr/Au电极，与玻璃电极键合在一起，玻璃面用胶保护好后，光刻正面并腐蚀出硅岛，在键合时，考虑静电键合腔内进水，做了相应的设计。

主权项

一种体硅工艺制成的压力传感器，该压力传感器自上而下包括上玻璃板，硅敏感膜片，下玻璃电极板。其特征在于，所述方法包括以下步骤：玻璃电极的加工步骤：采用玻璃作为下极板，在玻璃板上采用淀积工艺淀积金属，作为电极，并图形化电极形成电极引线和压焊电极.敏感膜片的加工：采用硅片作为基片，在背面腐蚀出电容间隙，淀积电极，和玻璃电极键合后，腐蚀出正面的硅岛。硅岛为变截面型硅岛。打孔玻璃键合：腐蚀出硅岛后，与打孔玻璃键合在一起。划片：通过划片完成裂片和压焊电极的露出。