[发明专利]一种钼钠合金旋转溅射管形靶材的制备工艺

摘要

本发明公开了一种钼钠合金旋转溅射管形靶材的制备工艺，包括如下步骤：1）备料：所用粉末为钼粉、钼酸钠粉末；粉末的物理性质为：钼粉的Mo含量≥99.95%，粒度3~5μm；钼酸钠粉，钼酸钠含量≥99.0%，粒度20~40μmμm；2）配粉：将钼粉、钼酸钠粉按照比例称取，钼粉质量百分含量为90~99%，钼酸钠粉为：1~10%；3）机械合金化：合成纳米钼钠合金粉末；4）装模；5）冷等静压压制；6）烧结；7）锻造；8）真空退火；9）机械加工，得到钼钠合金旋转溅射管形靶材。本发明生产的钼铌合金管形靶材成分均匀、无偏析、晶粒细小、纯度高，完全满足CIGS光伏电池的要求，提高电池使用效率。

主权项

一种钼钠合金旋转溅射管形靶材的制备工艺，其特征在于：包括如下步骤：1）备料：所用粉末为钼粉、钼酸钠粉末；粉末的物理性质为：钼粉的Mo含量≥99.95%，粒度3~5μm；钼酸钠粉，钼酸钠含量≥99.0%，粒度20~40μmμm；2）配粉：将钼粉、钼酸钠粉按照比例称取，钼粉质量百分含量为90~99%，钼酸钠粉为：1~10%；3）机械合金化：合成纳米钼钠合金粉末；4）装模：将上述得到的混合后的钼钠合金粉填充在橡胶模套内，制备成空心的粉质钼钠管坯；5）冷等静压压制：将空心的粉质钼钠管坯放入冷等静压力机压制成型；6）烧结：将成型后的固体管坯放入中频烧结炉内，炉内通入氢气保护，采用水循环降温； 7）锻造：将烧结后的钼钠合金成型坯加热到800‑1300℃，加热时间为1‑3h，取出后进行锻打；8）真空退火：将锻打后的钼钠管靶放入真空退火炉内，进行真空退火；具体的退火工艺为：加热温度：700‑1300℃，保温0.5‑2h，然后缓慢冷却至室温；9）机械加工，得到钼钠合金旋转溅射管形靶材。