[发明专利]激光加工装置

摘要

一种激光加工装置，可靠且高效地对进行CVD加工的加工部分附近加热，并且降低加工对象的挠曲。在进行激光CVD加工的激光加工装置（101）中，空气加热器（165）经由气窗（161）向基板（131）的加工部分附近供给热风。气窗（161）通过供给来自气体吸气排气单元（164）的原料气体，将加工部分附近的CVD空间保持在原料气体环境中。冷却风单元（167）经由气窗（161），向基板（131）的加工部分附近的周边供给冷却风。激光单元（163）经由激光照射观察单元（162）及气窗（161），向加工部分照射激光。本发明例如可以应用于激光修复装置。

主权项

一种激光加工装置，其特征在于，具备：供给单元，其朝向加工对象的加工部分附近吹出原料气体及热风，从吹出所述原料气体及所述热风的位置的外侧朝向所述加工部分附近的周边吹出冷却风，并且，在吹出所述原料气体及所述热风的位置与吹出所述冷却风的位置之间设置用于吸入所述原料气体、所述热风及所述冷却风的排气口；照射装置，其向所述加工部分照射激光。