[发明专利]改进半导体制造中的FAB工艺的工具功能的新型设计

摘要

本公开内容涉及一种利用工具传感器数据和内嵌或内置工具模型促进半导体制造的工艺工具系统。工艺工具系统包括传感器数据组件、工具模型和执行系统。传感器数据组件被配置成提供工具传感器数据。工具模型被内置在工艺工具中并且被配置成基于模型输入生成模型输出。制造执行系统被配置成向传感器数据组件提供包括实际计量数据和先前的工艺数据的工具工艺数据。此外，执行系统向工具模型提供模型输入并且接收来自工具模型的模型输出。执行系统基于传感器数据和模型输出提供一个或多个执行系统输出。传感器数据可以包括测量的半导体器件特征。本发明还提供了改进半导体制造中的FAB工艺的工具功能的新型设计。

主权项

一种工艺工具系统，包括：传感器数据组件，被配置成提供工具传感器数据；内置工具模型，被配置成基于模型输入生成模型输出；以及执行系统，被配置成向所述传感器数据组件提供工具工艺数据，向所述工具模型提供所述模型输入，接收来自所述内置工具模型的所述模型输出，以及提供一个或多个执行系统输出。