[发明专利]多连板检测机台

摘要

一种多连板检测机台，其主要包含有一机座、一位移检测装置、多个Z轴调整装置及一受测平台；所述位移检测装置具有一位移轨道组及一检测微调模块，所述位移轨道组设置于所述机座上，所述检测微调模块设置于所述位移轨道组上，而于所述位移轨道组上进行X轴向及Y轴向的位移，并进行取像对位、对位微调及接触检测，所述的Z轴调整装置设置于所述机座上，以进行Z轴向的往复位移，所述受测平台设置于所述等Z轴调整装置上，具有多个受测凹槽供受测元件放置；以使检测所需的程序及时间皆能大为缩短，更能达到较佳的检测精准度。

主权项

一种多连板检测机台，包括：一机座；一位移检测装置，具有一位移轨道组及一检测微调模块，所述位移轨道组设置于所述机座上，所述检测微调模块具有一基座、多个微调机构，一检测平台、至少一取像单元及一检测探针单元；所述基座设置于所述位移轨道组上，并能够进行往复的滑移，所述的微调机构等间距地设置于所述基座上，并能够进行X轴向及Y轴向的微调位移，所述检测平台设置于所述的微调机构上，以受所述的微调机构所带动而进行X轴向及Y轴向的微调平移，所述取像单元设置于所述基座上，用以进行取像对位，所述检测探针单元设置于所述检测平台上，具有多数能够与外部电子元件进行接触而探测其电性的探针，所述位移检测装置进行X轴向及Y轴向的位移，并进行取像对位、对位微调及接触检测；多个Z轴调整装置，设置于所述机座上，以进行Z轴向的往复位移者；一受测平台，设置于所述的Z轴调整装置上，具有多个受测凹槽。