[发明专利]用于等离子体诊断的圆柱形Langmuir探针有效

专利信息
申请号: 201310039001.2 申请日: 2013-01-31
公开(公告)号: CN103152970A 公开(公告)日: 2013-06-12
发明(设计)人: 汤海滨;张尊;杨渊 申请(专利权)人: 北京航空航天大学
主分类号: H05H1/00 分类号: H05H1/00
代理公司: 北京永创新实专利事务所 11121 代理人: 姜荣丽
地址: 100191*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种用于等离子体诊断的圆柱形Langmuir探针,属于等离子体诊断技术领域。本发明使用直径为0.3mm的钨丝作为探针材料,钨丝外面包覆两层耐高温氧化铝(Al2O3)陶瓷作为绝缘材料,不锈钢管作为支撑材料并弯折成“ ”形状的支撑结构,屏蔽同轴电缆线作为信号线并包覆多层热防护材料。探针本体固定在支撑结构上。本发明提供的探针结构体积小、传输信号的信噪比高、耐热性高、稳定性好、空间定位便捷、重复定位误差小,适用于多种等离子体环境下等离子体特性参数空间分布的快速、准确测量,广泛适用于等离子体的科学研究及工业应用。
搜索关键词: 用于 等离子体 诊断 圆柱形 langmuir 探针
【主权项】:
用于等离子体诊断的圆柱形Langmuir探针,其特征是:包含了探针本体和探针支撑,探针支撑又包含支撑结构和空间定位装置;所述的探针本体采用钨丝,钨丝头部的外层套装单孔陶瓷管,单孔陶瓷管外套装多孔陶瓷管,多孔陶瓷管外套装不锈钢管;钨丝尾部焊接屏蔽同轴电缆线的中心信号线,焊接点外层包覆热缩管,热缩管外包覆多层防高温屏蔽层;屏蔽同轴电缆线送入探针支撑内,并从底部小孔穿出,与等离子体装置之外的电路系统连接。
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