[发明专利]一种N型太阳能电池及其制作方法无效
申请号: | 201310039845.7 | 申请日: | 2013-01-31 |
公开(公告)号: | CN103066165A | 公开(公告)日: | 2013-04-24 |
发明(设计)人: | 王英超;熊景峰;胡志岩;李高非;赵文超 | 申请(专利权)人: | 英利集团有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0352;H01L31/0224 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 王宝筠 |
地址: | 071051 *** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明公开了一种N型太阳能电池及其制作方法,所述方法包括:提供一N型硅片,所述N型硅片的下表面包括:背面栅线区域以及背面非栅线区域;在所述下表面形成一层掩膜层;去除所述背面栅线区域的掩膜层;对所述下表面进行第一次N型掺杂,在所述背面栅线区域形成第一N型掺杂区;去除剩余的掩膜层,对所述下表面进行第二次N型掺杂,在所述背面非栅线区域形成第二N型掺杂区,所述第二N型掺杂区的掺杂浓度小于所述第一N型掺杂区的掺杂浓度;对所述N型硅片进行退火处理;形成正面电极结构和背面电极结构,所述正面电极结构位于所述N型硅片的上表面,所述背面电极结构位于所述N型硅片的下表面。该方法保证了硅片的机械强度,电池片不易破碎。 | ||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
一种N型太阳能电池制作方法,其特征在于,包括:提供一N型硅片,所述N型硅片的下表面包括:背面栅线区域以及背面非栅线区域;在所述下表面形成一层掩膜层;去除所述背面栅线区域的掩膜层;对所述下表面进行第一次N型掺杂,在所述背面栅线区域形成第一N型掺杂区;去除剩余的掩膜层,对所述下表面进行第二次N型掺杂,在所述背面非栅线区域形成第二N型掺杂区,所述第二N型掺杂区的掺杂浓度小于所述第一N型掺杂区的掺杂浓度;对所述N型硅片进行退火处理;形成正面电极结构和背面电极结构,所述正面电极结构位于所述N型硅片的上表面,所述背面电极结构位于所述N型硅片的下表面。
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
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