[发明专利]包括沉积掩模的制造装置有效
| 申请号： | 201310041989.6 | 申请日： | 2013-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN103243294B | 公开（公告）日： | 2017-03-01 |
| 发明（设计）人： | 金容焕 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司11286 | 代理人： | 王占杰,张川绪 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供了一种包括沉积掩模的制造装置，所述制造装置包括夹持器，用于固定其上形成有销孔的分开掩模片的端部；夹持销，位于夹持器中，用于插入到销孔中；以及提升器，用于提升夹持销。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 沉积 制造 装置 | ||
【主权项】：
一种包括沉积掩模的制造装置，所述装置包括：夹持器，用于固定其上形成有销孔的分开掩模片的端部，并包括上夹持器和下夹持器；夹持销，位于夹持器中，用于插入到销孔中；以及提升器，用于相对于上夹持器和下夹持器提升夹持销，以使夹持销插入到所述销孔中。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星显示有限公司，未经三星显示有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310041989.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
