[发明专利]一种亚波长光栅周期的测量器件有效
| 申请号： | 201310042037.6 | 申请日： | 2013-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN103076162A | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 罗先刚;赵泽宇;王长涛;王彦钦;陶兴;姚纳;蒲明薄;杨欢;刘利芹;罗云飞 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 梁爱荣 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种亚波长光栅周期的测量器件，由标准光栅和金属介质多层膜组成，金属-介质多层膜由多层介质层和多层金属层为相间隔放置；介质层的上层位于标准光栅的下方，金属层的底层位于待测光栅上方，将电场方向与标准光栅方向垂直的线偏振入射光照射到标准光栅上，标准光栅产生多级携带高空间频率的衍射波，并通过金属介质多层膜滤波；滤过透射波与待测光栅差频形成能观测的长周期干涉条纹；最后观察测量干涉条纹并确定待测光栅周期。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波长 光栅 周期 测量 器件 | ||
【主权项】：
一种亚波长光栅周期的测量器件，其特征在于：由标准光栅和金属介质多层膜组成，金属‑介质多层膜由多层介质层和多层金属层为相间隔放置；介质层的上层位于标准光栅的下方，金属层的底层位于待测光栅上方，将电场方向与标准光栅方向垂直的线偏振入射光照射到标准光栅上，标准光栅产生多级携带高空间频率的衍射波，并通过金属介质多层膜滤波；滤过透射波与待测光栅差频形成能观测的长周期干涉条纹；最后观察测量干涉条纹并确定待测光栅周期。
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