[发明专利]一种线性等离子体源有效
| 申请号： | 201310043635.5 | 申请日： | 2013-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN103227090A | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | 陈洁欣;徐志明;刘月娥 | 申请（专利权）人： | 深圳市劲拓自动化设备股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区西乡*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例公开了一种线性等离子体源，应用于太阳能电池生产领域。一种线性等离子体源，包括：外壳，所述外壳形成具有出口的反应室；进气系统，包括内部管道，所述内部管道安装在所述外壳上，位于所述反应室内，用于向反应室内释放反应气体；电极系统，包括至少两个电极板，所述电极板安装在外壳上，位于所述反应室内的内部管道周围；电磁系统，包括电磁线圈，所述电磁线圈安装在所述外壳反应室的出口处，具有等离子出口。本发明实施例结构简单，生产制作成本低，均匀性好，膜层致密性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 线性 等离子体 | ||
【主权项】：
一种线性等离子体源，其特征在于，包括：外壳，所述外壳形成具有出口的反应室；进气系统，包括内部管道，所述内部管道安装在所述外壳上，位于所述反应室内，用于向反应室内释放反应气体；电极系统，包括至少两个电极板，所述电极板安装在外壳上，位于所述反应室内的内部管道周围；电磁系统，包括电磁线圈，所述电磁线圈安装在所述外壳反应室的出口处，具有等离子出口。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市劲拓自动化设备股份有限公司，未经深圳市劲拓自动化设备股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310043635.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种掉粉均匀的研磨结构
- 下一篇：一种新型汤锅
