[发明专利]一种TFT阵列基板、显示面板和显示装置有效
申请号: | 201310043756.X | 申请日: | 2013-02-04 |
公开(公告)号: | CN103943626B | 公开(公告)日: | 2017-04-05 |
发明(设计)人: | 臧浩春 | 申请(专利权)人: | 上海天马微电子有限公司;天马微电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;G02F1/136;G02F1/1335 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 201201 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种TFT阵列基板、显示面板和显示装置,包括第一基板;位于所述第一基板上的栅极和扫描线;位于所述栅极和扫描线上的栅极绝缘层;位于所述栅极绝缘层上、所述栅极上方的有源层;覆盖所述有源层的沟道区域的刻蚀阻挡层;所述TFT阵列基板还包括覆盖所述扫描线的遮光层;所述遮光层和所述刻蚀阻挡层位于同一层,且均采用高阻遮光材料。采用高阻遮光材料作为刻蚀阻挡层,可以防止从TFT顶部的光照射到TFT的半导体层的沟道区域;采用与该刻蚀阻挡层同一层的挡光层遮盖扫描线,可以去除彩膜基板上对应扫描线的黑色矩阵,提高了开口率;刻蚀阻挡层与遮光扫描线的挡光层位于同一层,材料相同,不增加新的工艺步骤,节约了成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 tft 阵列 显示 面板 显示装置 | ||
【主权项】:
一种TFT阵列基板,包括:第一基板;位于所述第一基板上的栅极和扫描线;位于所述栅极和扫描线上的栅极绝缘层;位于所述栅极绝缘层上、所述栅极上方的有源层;覆盖所述有源层的沟道区域的刻蚀阻挡层;其特征在于,所述TFT阵列基板还包括覆盖所述扫描线的遮光层;所述遮光层和所述刻蚀阻挡层位于同一层,且均采用高阻遮光材料。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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