[发明专利]一种抗ESD能力的测试装置及方法无效
申请号: | 201310044261.9 | 申请日: | 2013-02-04 |
公开(公告)号: | CN103105558A | 公开(公告)日: | 2013-05-15 |
发明(设计)人: | 宋良奎;刘东;周自立;姚伏恒;刘海峰;周卫华 | 申请(专利权)人: | 深圳市中显微电子有限公司 |
主分类号: | G01R31/00 | 分类号: | G01R31/00 |
代理公司: | 广东星辰律师事务所 44263 | 代理人: | 李启首 |
地址: | 518083 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明属于电子元器件抗ESD能力的测试技术领域,尤其涉及一种抗ESD能力的测试装置及方法。本发明抗ESD能力的测试装置包括ESD测试平台、定位装置、被测器件和静电枪,所述定位装置位于ESD测试平台的上方,所述被测器件置于定位装置内,通过所述定位装置将静电枪的释放端与被测器件表面的测量距离固定在一定标准值。本发明实施例的抗ESD能力的测试装置及方法可依据空气放电和接触式放电的不同需求,通过来高度控制装置微调可升降支架的高度,以满足在空气式放电测试时使静电枪的释放端与被测器件表面的距离固定在一定标准值,并可依据被测器件的大小进行差异化设计和制作,以满足测量时的定位需要。 | ||
搜索关键词: | 一种 esd 能力 测试 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种抗ESD能力的测试装置,包括ESD测试平台、被测器件和静电枪,其特征在于,还包括定位装置,所述定位装置位于ESD测试平台的上方,所述被测器件置于定位装置内,通过所述定位装置将静电枪的释放端与被测器件表面的测量距离固定在一定标准值。
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