[发明专利]一种三氟醋酸盐溶液制备稀土金属氟化物REF3薄膜的方法

摘要

本发明涉及光学薄膜材料、显示器材料，太阳能器件材料的制备技术，具体的说是涉及一种三氟醋酸盐溶液制备稀土金属氟化物REF3薄膜的方法。目前，制备上转换氟化物薄膜有多种方法，如离子束辅助沉积、激光脉冲沉积、磁控溅射技术、电子束蒸发技术、溶胶-凝胶技术等。在薄膜制备方面，上述技术在制备氧化物上转换薄膜方面已有大量研究报道，技术达到了较成熟的地步，但利用上述的各种镀膜技术制备氟化物的上转换薄膜的方面，受到很大的局限性。本发明通过对溶液的改性，减少溶液中水的含量来控制薄膜成形过程，通过旋涂法或提拉法可获得表面光亮的胶体薄膜，并通过无氧气氛保护下进行热处理，避免了杂相的形成，最终获得发光性能良好的薄膜。

主权项

一种三氟醋酸盐溶液制备稀土金属氟化物REF3薄膜的方法，其特征在于：所述的制备稀土金属氟化物REF3薄膜的方法包括以下步骤：1）胶体溶液的制备；2）凝胶薄膜的制备；3）凝胶薄膜的气氛热处理；所述的具体步骤如下：所述的步骤1）中胶体溶液的制备是用三氟乙酸作反应物将醋酸钇、醋酸钆、醋酸钕或醋酸钐中的一种，醋酸镱，醋酸铒溶解于乙二醇甲醚或丙酸中形成了性能稳定且成膜性好的胶体溶液；所述的步骤2）中所述的凝胶薄膜的制备是用所配制的胶体溶液，通过旋涂法或提拉法在基片上获得凝胶薄膜；所述的步骤3）中凝胶薄膜的气氛热处理是将得到的凝胶薄膜在空气下干燥，在N2气氛中热处理，即可获得具有良好发光性能的REF3薄膜。