[发明专利]涂布装置

摘要

一种涂布装置，即使当使用具有可挠性的涂布液管来将涂布液供给至涂布头时，也可防止氧穿透涂布液管。将惰性气体经由连接容器(40)而供给至管群(42)，该管群(42)是捆束具有可挠性的涂布液管(328)、与具有可挠性的气体供给管(421)而成。借此，可将惰性气体供给至涂布液管(328)与气体供给管(421)之间所形成的间隙(423)，从而可在涂布液管(328)的周围形成由惰性气体产生的层，因此，可防止氧穿透涂布液管(328)。

主权项

一种涂布装置，将涂布液涂布至基板，其特征在于，所述涂布装置包括：基板保持部，水平地保持着所述基板；喷出部，从多个喷出口向所述基板喷出涂布液，所述多个喷出口沿着与所述基板呈平行的副扫描方向排列；主扫描机构，包括：引导部，向与所述副扫描方向垂直且与所述基板呈平行的主扫描方向延伸；及滑动件，一面卡合于所述引导部，一面将气体喷出至所述滑动件与所述引导部之间，借此，以非接触状态支撑于所述引导部；且所述主扫描机构使安装于所述滑动件的所述喷出部向所述主扫描方向移动；副扫描机构，每当所述喷出部的朝向所述主扫描方向的移动完成时，使所述基板相对于所述喷出部，向所述副扫描方向相对地移动；管群，以一体地将气体供给管与多个涂布液管予以覆盖的方式，利用捆束材来捆束所述气体供给管与所述多个涂布液管而成，所述气体供给管具有可挠性且将所述气体供给至所述滑动件，所述多个涂布液管各自具有可挠性且将所述涂布液供给至所述喷出部；连接容器，与所述管群的处于所述喷出部相反侧的端部连结；供气部，将惰性气体供给至所述连接容器内；涂布液供给部，将所述涂布液供给至所述涂布液管；以及气体供给部，将所述气体供给至所述气体供给管，所述供气部将供给至所述连接容器内的所述惰性气体供给至因捆束所述气体供给管与所述多个涂布液管而形成的间隙。