[发明专利]可摇动式L型包网挡板

摘要

本发明公开了一种可摇动式包网挡板，其中通过设置铰链将外侧周部包有不锈钢网的第一板体和第二板体转动地连接起来，当该L型包网挡板在真空腔室中使用一段时间后，磁控溅射物附着在不锈钢网上形成的积渣达到一定值，这时通过传动部件传递驱动力使得第一板体与第二板体发生相对旋转，第一板体和第二板体便发生相对撞击，使得不锈钢网上的积渣即被拍打下来，实现了在真空状态下对该包网挡板上积渣的清洁，有效地避免了生产过程中出现崩渣、掉渣的现象，保证了磁控溅射镀膜产品的质量，提高了产品的生产质量和生产良率。

主权项

一种可摇动式L型包网挡板，其特征在于：所述挡板包括不锈钢材料制成的第一板体和第二板体，所述第一板体、所述第二板体的外侧周部上分别包裹有不锈钢网，所述第一板体、所述第二板体通过多个铰链相转动连接，所述多个铰链沿着所述第一板体、所述第二板体的长度延伸方向相间隔排布。