[发明专利]真空蒸镀系统及真空蒸镀方法无效
| 申请号： | 201310046198.2 | 申请日： | 2013-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN103255375A | 公开（公告）日： | 2013-08-21 |
| 发明（设计）人： | 若林雅;加藤升;石泽泰明 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强;严星铁 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供能够在串联地配置真空搬运腔体与真空蒸镀腔体的真空蒸镀系统中降低材料损失的经济性好的真空蒸镀系统及真空蒸镀方法。本发明是一种真空蒸镀系统，其交替且串联地配置水平搬运工件的真空搬运腔体与对上述工件蒸镀蒸镀材料的真空蒸镀腔体，由具有多个上述真空蒸镀腔体的线构成，互相并列地设置N条上述线，其中N为2以上，上述真空蒸镀腔体是横跨各个上述N条线而设置的N条线真空蒸镀腔体，上述N条线真空蒸镀腔体在每条线上具有对工件进行蒸镀的蒸镀位置，当在上述N条线中的第一线对第一上述工件进行蒸镀期间，在与上述第一线不同的另一线上将第二工件搬出到下游侧的上述真空搬运腔体，并从上游侧的上述真空搬运腔体搬入第三工件。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种真空蒸镀系统，其交替且串联地配置水平地搬运工件的真空搬运腔体与对上述工件蒸镀蒸镀材料的真空蒸镀腔体，由具有多个上述真空蒸镀腔体的线构成，该真空蒸镀系统的特征在于，互相并列地设置N条上述线，其中N为2以上，上述真空蒸镀腔体是横跨各个上述N条线而设置的N条线真空蒸镀腔体，上述N条线真空蒸镀腔体在每条线上具有对上述工件进行蒸镀的蒸镀位置，当在上述N条线中的第一线上对第一上述工件进行蒸镀期间，在与上述第一线不同的另一线上将第二上述工件搬出到下游侧的上述真空搬运腔体，并从上游侧的上述真空搬运腔体搬入第三上述工件。
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