[发明专利]一种晶片传送控制方法及装置无效

专利信息
申请号: 201310046214.8 申请日: 2013-02-05
公开(公告)号: CN103964233A 公开(公告)日: 2014-08-06
发明(设计)人: 谭汉军;黄仁禄;曹志兵 申请(专利权)人: 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司
主分类号: B65H7/02 分类号: B65H7/02;H01L21/677
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人: 黄志华
地址: 100871 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种晶片传送控制方法及装置,以解决现有技术中晶片破损导致的叠片问题。本发明中的晶片传送控制装置包括晶片传送模块、检测模块和控制模块,所述检测模块用于检测在所述晶片传送模块的设定位置处是否停留有晶片,当停留有晶片时,将检测信号传送至所述控制模块;所述控制模块,接收所述控制模块传送的检测信号并确定所述晶片的停留时间,当所述停留时间未超出设定的时间阀值时,控制所述晶片传送模块正常传送晶片,当所述停留时间超出设定时间阀值时,则控制所述晶片传送模块停止传送晶片。本发明通过检测晶片的停留时间,当停留时间超出设定的阀值,停止传送晶片,则可避免后续的晶片叠加到其上。
搜索关键词: 一种 晶片 传送 控制 方法 装置
【主权项】:
一种晶片传送控制装置,包括晶片传送模块,其特征在于,该装置还包括:与所述晶片传送模块连接的检测模块,以及和所述检测模块和所述晶片传送模块分别连接的控制模块,其中,所述检测模块,用于检测在所述晶片传送模块的设定位置处是否停留有晶片,当停留有晶片时,将检测信号传送至所述控制模块;所述控制模块,根据接收到检测信号的时间确定所述晶片的停留时间,当所述停留时间未超出设定的时间阀值时,控制所述晶片传送模块正常传送晶片,当所述停留时间超出设定时间阀值时,则控制所述晶片传送模块停止传送晶片。
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