[发明专利]用于减少除气作用的紫外线（UV）图案化的方法和装置有效
| 申请号： | 201310046337.1 | 申请日： | 2013-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN103777470A | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 张书豪;吴小真;许家豪;陈家桢;陈映予;李慈莉;简上杰;陈政宏;严涛南 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;孙征 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 提供了一种用于紫外线(UV)和远紫外线(EUV)光刻图案化的方法和装置。生成UV或EUV光束并且将它们引导至设置在工作台上且涂覆有光刻胶的衬底表面。在曝光(即，光刻操作)期间引导层状惰性气体流过并且紧邻涂覆有光刻胶的衬底表面。将惰性气体快速排出并且在曝光位置处具有短暂的共振时间。惰性气体流防止通过光刻胶除气产生的废气和其他污染物沉淀和污染光刻装置的其他部件。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 减少 作用 紫外线 uv 图案 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种紫外线(UV)光刻装置，包括：工作台，用于在其上接收要被图案化的衬底；紫外线(UV)光源，将UV光引导至设置在所述工作台上的所述衬底；气体输送源，使惰性气体在设置在所述工作台上的所述衬底的表面上方且紧邻该表面流动；以及排气系统，具有能够排出所述惰性气体的排气口。
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