[发明专利]电力喷枪和利用高频耦合的等离子体增强型涂覆有效

专利信息
申请号: 201310048363.8 申请日: 2013-02-06
公开(公告)号: CN103243315A 公开(公告)日: 2013-08-14
发明(设计)人: 乔奇恩·克鲁格;安德烈亚斯·松阿奥尔;罗兰·格舍 申请(专利权)人: 克朗斯股份公司
主分类号: C23C16/507 分类号: C23C16/507;C23C16/455;C23C16/04
代理公司: 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 代理人: 黄威;孙丽梅
地址: 德国新*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 发明提供电力喷枪和利用高频耦合的等离子体增强型涂覆。本发明涉及借助于等离子体处理来涂覆例如塑料瓶子的容器(102)的装置(100),所述装置(100)包括:至少一个高频源(109),位于待处理的容器(102)的外部的至少一个外部电极(103)以及用于将处理气体供应到容器(102)中的至少部分地导电的至少一个气体喷枪(101),其特征在于,至少一个外部电极(103)接地和/或与位于待处理的容器的外部的容器涂覆装置(100)的其他部件(诸如压力室部件或壳体部件)等电位,并且所述至少一个气体喷枪(101)能够将能够由所述高频源(109)产生的高频辐照到待处理的容器(102)的内部。
搜索关键词: 电力 喷枪 利用 高频 耦合 等离子体 增强 型涂覆
【主权项】:
借助于等离子体处理来用于涂覆例如塑料瓶子的容器(102)的装置(100),所述装置(100)包括:至少一个高频源(109)、位于待处理的所述容器(102)的外部的至少一个外部电极(103),以及用于将处理气体供应到所述容器(102)中的至少部分地导电的至少一个气体喷枪(101),其特征在于,所述至少一个外部电极(103)接地和/或与位于待处理的所述容器的外部的容器涂覆装置(100)诸如压力室部件或壳体部件的其他部件等电位,并且所述至少一个气体喷枪(101)能够将能够由所述高频源(109)产生的高频辐照到待处理的所述容器(102)的内部。
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