[发明专利]形成用于电子显微镜的玻璃化样本

摘要

本发明涉及在样本架(112)上形成玻璃化样本供在电子显微镜(100、106)中检验的方法。已知在网片上喷射溶液，然后将网片浸入低温液体、例如乙烷或液态氮中。本发明提出在低温表面(112)、例如真空中的样本架或网片上喷射(经由118)液体的小微滴。液体在碰撞表面时因网片或样本架的低温度而形成玻璃化样本材料(200、202)。可从这样形成的样本材料来挖掘薄片，以便在TEM中研究，或者可在SEM中直接观测玻璃化样本材料。在一个实施例中，材料可在低温液体上喷射，以便从液体中汲出并且放置在网片上。

主权项

一种形成玻璃化样本的图像的方法，所述方法包括：‑ 提供包括样本材料的水溶液，‑ 在样本架(112)的表面上喷射所述水溶液的微滴，‑ 通过迅速冷却所述溶液来形成玻璃化样本，以及‑ 形成在带电粒子显微镜(100)的易抽空样本室(114)中的玻璃化样本的图像，其特征在于‑ 被喷射溶液的表面具有低温温度，‑ 当处于带电粒子显微镜的所述易抽空样本室中的同时微滴被喷射在该表面上，由此，在所述微滴碰撞所述表面的时刻在所述表面上在原处形成玻璃化样本。