[发明专利]正切驱动式微秒级高精度角度调节机构

摘要

本发明提供了一种正切驱动式微秒级高精度角度调节机构，以满足对同步辐射双晶单色器中两晶体的投角、滚角和摆角的微秒级无间隙动态调节，从而提供实验所需的高质量同步辐射光。本发明采用柔性铰链连接上板与下板形成调节机构旋转的柔性关节；上板、柔性铰链和下板把直线位移进给机构的微小移动转换为下板的角度微小偏转；采用弹簧复位机构给调节机构提供复位偏转力；当直线位移器前进一定距离时，直线微位移器提供的推力与弹簧压力和使柔性铰链产生偏转的力形成平衡力系，柔性铰链带动下板产生正向偏转；当直线微位移器后退时，弹簧的压力与直线位移器提供的推力和使柔性铰链产生偏转的力形成平衡力系，柔性铰链带动下板产生负向偏转。

主权项

一种正切驱动式微秒级高精度角度调节机构，其特征在于：包括上板（1）、下板（5）、柔性铰链（2）、弹簧复位机构（4）、直线位移进给机构（3）、传力顶杆（7）和用以检测直线微位移器当前位移量的直线位移传感系统（6）；所述上板（1）和下板（5）均具有平板部和偏置于平板部侧面的弯折部；上板（1）的平板部与下板（5）的平板部平行相对，所述柔性铰链位于这两个平板部之间，柔性铰链两端的连接板分别经螺钉与这两个平板部固定连接，上板（1）的弯折部与下板（5）的弯折部也平行相对，形成上板（1）与下板（5）的整体相合；所述弹簧复位机构（4）和直线位移进给机构（3）均安装于下板（5）的弯折部；弹簧复位机构（4）的弹簧心轴穿过下板（5）的弯折部与上板（1）的弯折部固定连接，套接在弹簧心轴上的弹簧通过压紧螺母压接于下板（5）的弯折部的外侧；传力顶杆（7）安装于上板（1）的弯折部，并与直线位移进给机构（3）的输出端顶紧，能够使得直线位移进给机构（3）经传力顶杆（7）输出的微位移反作用于下板的弯折部，进而使下板（5）的平板部以柔性铰链（2）为旋转关节产生正向偏转，所述弹簧的压力产生下板（5）的平板部负向偏转的势能。